Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 400

Заказать
Распечатать

Пьезоэлектрическая система TRITOR 400 была разработана для больших перемещений (до 400 мкм) вдоль трех осей X, Y, Z. Пьезоподвижка может быть изготовлена в исполнении совместимом с вакуумом и низкими температурами. Возможно дооснащение как тензометрическими, так и емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).

Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 400.

 Модель TRITOR
 400 
 TRITOR
 400 SG
 TRITOR
 400 CAP
 Оси X, Y, Z X, Y, Z X, Y, Z
 Максимальное перемещение
 (+/-10%), мкм (open-loop)*
 400 400 400
 Максимальное перемещение
 (+/-0.2%), мкм (closed-loop)**
 - 320 320
 Электрическая емкость на ось
 x/y/z (+/-20%), мкФ
 14/14/14 14/14/14 6/6/14
 Встроенные датчики - SG*** CAP****
 Точность (open-loop), нм 0.8 0.8 0.8
 Точность (closed-loop), нм - 35 1
 Повторяемость позиции, нм - 10/8/9 13/10/10
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 0 г), Гц
 180/280/140 180/280/140 180/280/140
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 20 г), Гц
 178/236/193 178/236/193 178/236/193
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 50 г), Гц
 162/218/167 162/218/167 162/218/167
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 100 г), Гц
 143/153/142 143/153/142 143/153/142
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 300 г), Гц
 105/115/135 105/115/135 105/115/135
 Жесткость x/y/z, Н/мкм 0.3/0.3/0.25 0.3/0.3/0.25 0.3/0.3/0.25
 Габаритные размеры
 (длина*ширина*высота), мм
 116*106*40 116.5*106.5*40 116*106*40
 Вес, г 1050 1050 1100

*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
****CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.

Сопутствующее оборудование