Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 320

Заказать
Распечатать

Трехосевая пьезоподвижка TRITOR 320 была разработана для высокоточного позиционирования при больших нагрузках (до 20 кг). Точность позиционирования при этом не превышает 0.8 нм. Имеет центральное отверстие в форме квадрат со стороной 150 мм. Возможно дооснащение емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control). Величина перемещения (X, Y, Z) составляет 50/50/400 мкм при контроле перемещения без помощи обратной связи (отключена обратная связь) и 40/40/320 мкм при контроле перемещения с помощью обратной связи (включена обратная связь).

Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 320.

 Модель TRITOR 320  TRITOR 320 CAP 
 Оси X, Y, Z X, Y, Z
 Максимальное перемещение
 x/y/z (+/-10%), мкм (open-loop)*
 50/50/400 50/50/400
 Максимальное перемещение
 x/y/z, мкм (closed-loop)**
 - 40/40/320
 Электрическая емкость на ось
 x/y/z (+/-20%), мкФ
 44/44/116 44/44/116
 Встроенные дачтчики - CAP***
 Точность x/y/z, нм (open-loop) 0.1/0.1/0.8 0.1/0.1/0.8
 Точность, нм (closed-loop) - 1
 Повторяемость позиции x/y/z, нм - 2/2/14
 Нелинейность x/y/z, нм - 10/10/250
 Резонансная частота x/y/z, Гц
 (нагрузка 0 кг)
 250/250/150 250/250/150
 Резонансная частота x/y/z, Гц
 (нагрузка 12 кг)
 140/140/70 140/140/70
 Жесткость x/y/z, Н/мкм 36/36/4.2 36/36/4.2
 Габаритные размеры
 (длина*ширина*высота), мм
 320*320*55 320*320*55
 Форма центрального отверстия Квадрат Квадрат
 Размеры центрального отверстия
 (длина*ширина), мм
 150*150 150*150
 Вес, г 8000 8000

*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***CAP (capacitive sensors) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.

Сопутствующее оборудование