Пятиосевая нанопьезоподвижка PENTOR

Заказать
Распечатать

Пятиосевая нанопьезоподвижка представляем собой комбинацию трехосевой системы трансляции и двухосевой системы наклона. Имеется центральное сквозное отверстие диаметром 17 мм. Максимальная величина перемещения по каждой оси 100 мкм, максимальный наклон в каждом направлении ±2 мрад. Возможно производство версии со встроенными датчиками обратной связи.

В качестве контроллера рекомендуем использовать d-Drive (E751-000).

d-Drive_Shemer_1_02.JPG


Технические характеристики нанопьезоподвижки PENTOR.

 Модель PENTOR
 T-450-00
 PENTOR
 T-450-01 
 PENTOR
 T-450-01D
 Оси X, Y, Z,
 ortX, ortY
 X, Y, Z,
 ortX, ortY
 X, Y, Z,
 ortX, ortY
 Диапазон напряжений, В -20...+130 -20...+130 -20+130
 Центральная апертура, мм 17 17 17
 Макс. нагрузка, Н 50 50 50
 Габаритные размеры
 (длина*ширина*высота), мм
 69*68*40 69*68*40 69*68*40
 Вес, г 450 480 480
 Система трансляции   
 Максимальное перемещение
 (+/-10%) (open-loop)*, мкм
 100 100 100
 Максимальное перемещение
 (+/-0.2%) (closed-loop)**, мкм
 - 80 80
 Точность (open-loop), нм 0.2 0.2 0.2
 Точность (closed-loop), нм - 2 2
 Электрическая емкость на ось
 (+/-20%), мкФ
 1.7 1.7 1.7
 Резонансная частота x/y/z
 (нагрузка 0 г), Гц
 680/750/580 680/750/580 680/750/580
 Жесткость на ось, Н/мкм 0.5 0.5 0.5
 Нелинейность x/y/z, % - 0.05/0.06/0.02 0.05/0.06/0.02
 Повторяемость позиции x/y/z, нм - 5/4/5 5/4/5
 Система наклона   
 Угол наклона (+/-10%) ortX, ortY
 (open-loop), мрад
 +/-2 +/-2 +/-2
 Угол наклона (+/-0.2%) ortX, ortY
 (closed-loop), мрад
 - +/-1.6 +/-1.6
 Диапазон напряжений, В -20...+130 -20...+130 -20...+130
 Количество осей 2 2 2
 Электрическая емкость на ось
 (+/-20%), мкФ
 2x0.85 2x0.85 2x0.85
 Нелинейность, % - ortX: 0.18,
 ortY:0.13
 ortX: 0.18,
 ortY:0.13
 Повторяемость позиции, мкрад - ortX: 0.44
 ortY: 0.48
 ortX: 0.44
 ortY: 0.48

*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.

Сопутствующее оборудование