Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 50.
| Модель | TRITOR 50 | TRITOR 50 CAP |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z |
| Максимальное перемещение (+/-10%), мкм (open-loop)* | 50 | 50 |
| Максимальное перемещение, мкм (closed-loop)** | - | 40 |
| Электрическая емкость на ось (+/-20%), мкФ | 1.0 | 1.0 |
| Встроенные датчики | - | CAP*** |
| Точность, нм | 0.1 | 1.0 |
| Повторяемость позиции, нм | - | 4 |
| Нелинейность, % | - | 0.01 |
| Резонансная частота x/y/z, Гц | 345/365/400 | 345/365/400 |
| Жесткость x/y/z, Н/мкм | 0.5/0.5/1 | 0.5/0.5/1 |
| Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм | 55*42*35 | 55*42*35 |
| Вес, г | 115 | 215 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
*** CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.