Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 400.
| Модель | TRITOR 400 | TRITOR 400 SG | TRITOR 400 CAP |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z | X, Y, Z |
| Максимальное перемещение (+/-10%), мкм (open-loop)* | 400 | 400 | 400 |
| Максимальное перемещение (+/-0.2%), мкм (closed-loop)** | - | 320 | 320 |
| Электрическая емкость на ось x/y/z (+/-20%), мкФ | 14/14/14 | 14/14/14 | 6/6/14 |
| Встроенные датчики | - | SG*** | CAP**** |
| Точность (open-loop), нм | 0.8 | 0.8 | 0.8 |
| Точность (closed-loop), нм | - | 35 | 1 |
| Повторяемость позиции, нм | - | 10/8/9 | 13/10/10 |
| Резонансная частота x/y/z (нагрузка 0 г), Гц | 180/280/140 | 180/280/140 | 180/280/140 |
| Резонансная частота x/y/z (нагрузка 20 г), Гц | 178/236/193 | 178/236/193 | 178/236/193 |
| Резонансная частота x/y/z (нагрузка 50 г), Гц | 162/218/167 | 162/218/167 | 162/218/167 |
| Резонансная частота x/y/z (нагрузка 100 г), Гц | 143/153/142 | 143/153/142 | 143/153/142 |
| Резонансная частота x/y/z (нагрузка 300 г), Гц | 105/115/135 | 105/115/135 | 105/115/135 |
| Жесткость x/y/z, Н/мкм | 0.3/0.3/0.25 | 0.3/0.3/0.25 | 0.3/0.3/0.25 |
| Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм | 116*106*40 | 116.5*106.5*40 | 116*106*40 |
| Вес, г | 1050 | 1050 | 1100 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
****CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.