Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 320.
| Модель | TRITOR 320 | TRITOR 320 CAP |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z |
| Максимальное перемещение x/y/z (+/-10%), мкм (open-loop)* | 50/50/400 | 50/50/400 |
| Максимальное перемещение x/y/z, мкм (closed-loop)** | - | 40/40/320 |
| Электрическая емкость на ось x/y/z (+/-20%), мкФ | 44/44/116 | 44/44/116 |
| Встроенные дачтчики | - | CAP*** |
| Точность x/y/z, нм (open-loop) | 0.1/0.1/0.8 | 0.1/0.1/0.8 |
| Точность, нм (closed-loop) | - | 1 |
| Повторяемость позиции x/y/z, нм | - | 2/2/14 |
| Нелинейность x/y/z, нм | - | 10/10/250 |
| Резонансная частота x/y/z, Гц (нагрузка 0 кг) | 250/250/150 | 250/250/150 |
| Резонансная частота x/y/z, Гц (нагрузка 12 кг) | 140/140/70 | 140/140/70 |
| Жесткость x/y/z, Н/мкм | 36/36/4.2 | 36/36/4.2 |
| Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм | 320*320*55 | 320*320*55 |
| Форма центрального отверстия | Квадрат | Квадрат |
| Размеры центрального отверстия (длина*ширина), мм | 150*150 | 150*150 |
| Вес, г | 8000 | 8000 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***CAP (capacitive sensors) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.