Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 102.
| Модель | TRITOR 102 | TRITOR 102 SG | TRITOR 102 CAP |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z | X, Y, Z |
| Максимальное перемещение (+/-10%), мкм (open-loop)* | 100 | 100 | 100 |
| Максимальное перемещение, мкм (closed-loop)** | - | 80 | 80 |
| Электрическая емкость на ось (+/-20%), мкФ | 1.7 | 1.7 | 1.7 |
| Встроенные датчики | - | SG*** | CAP**** |
| Точность, нм | 0.2 | 2 | 1 |
| Повторяемость позиции, нм | - | +/-17 | +/-10 |
| Резонансная частота x/y/z, Гц | 330/320/210 | 330/320/210 | 330/320/210 |
| Жесткость x/y/z, Н/мкм | 1/1/1 | 1/1/1 | 1/1/1 |
| Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм | 80*80*30 | 80*80*30 | 80*80*30 |
| Диаметр центрального сквозного отверстия, мм | 40 | 40 | 40 |
| Вес, г | 520 | 610 | 700 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
****CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.