Nano Piezoelectric microTRITOR and miniTRITOR
Технические характеристики нанопьезоподвижок micro- и miniTritor.
Модель | microTRITOR | miniTRITOR |
Оси | X, Y, Z | X, Y, Z |
Максимальное перемещение (+/-10%), мкм | 9 | 38 |
Электрическая емкость на ось (+/-20%), мкФ | 0.07 | 0.16 |
Встроенные датчики | - | - |
Точность, нм | 0.02 | 0.07 |
Резонансная частота x/y/z, Гц | 2100/2230/2290 | 540/600/500 |
Жесткость, Н/мкм | 1.0 | 0.5 |
Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм | 15*15*15 | 19*19*16 |
Вес, г | 12 | 57 |