Nano Piezoelectric microTRITOR and miniTRITOR
Технические характеристики нанопьезоподвижок micro- и miniTritor.
| Модель | microTRITOR | miniTRITOR |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z |
| Максимальное перемещение (+/-10%), мкм | 9 | 38 |
| Электрическая емкость на ось (+/-20%), мкФ | 0.07 | 0.16 |
| Встроенные датчики | - | - |
| Точность, нм | 0.02 | 0.07 |
| Резонансная частота x/y/z, Гц | 2100/2230/2290 | 540/600/500 |
| Жесткость, Н/мкм | 1.0 | 0.5 |
| Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм | 15*15*15 | 19*19*16 |
| Вес, г | 12 | 57 |