Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 38.
| Модель | TRITOR 38 | TRITOR 38 SG |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z |
| Максимальное перемещение (+/-10%), мкм (open-loop)* | 38 | 38 |
| Максимальное перемещение (+/-0.2%), мкм (closed-loop)** | - | 30 |
| Электрическая емкость на ось (+/-20%), мкФ | 0.7 | 0.7 |
| Встроенные датчики | - | SG*** |
| Точность, нм | 0.07 | 0.8 |
| Повторяемость позиции, нм | - | 22 |
| Нелинейность, % | - | 0.1 |
| Резонансная частота x/y/z, Гц | 630/685/915 | 630/685/915 |
| Жесткость x/y/z, Н/мкм | 0.5/0.45/0.8 | 0.5/0.45/0.8 |
| Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм | 25*25*25 | 40*40*33.5 |
| Вес, г | 115 | 130 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.