XYZ Нанопьезоподвижка TRITOR 50

TRITOR 50 - сочетает в себе преимущества небольших размеров системы (52 мм*35 мм*42 мм) с высокой точностью позиционирования, ограниченную только шумом сигнала системы управления. Максимальная величина перемещения составляет 50 мкм. Из-за высокой жесткости и превосходной прямолинейности движения серия TRITOR подходит для высокоточного позиционирования в нанометровом диапазоне. Возможно дооснащение емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).

Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 50.

 Модель TRITOR 50  TRITOR 50 CAP 
 Оси  X, Y, Z  X, Y, Z
 Максимальное перемещение
 (+/-10%), мкм (open-loop)*
 50  50
 Максимальное перемещение,
 мкм (closed-loop)**
 -  40
 Электрическая емкость на ось
 (+/-20%), мкФ
 1.0  1.0
 Встроенные датчики  -  CAP***
 Точность, нм  0.1  1.0
 Повторяемость позиции, нм  -  4
 Нелинейность, %  -  0.01 
 Резонансная частота x/y/z, Гц  345/365/400  345/365/400
 Жесткость x/y/z, Н/мкм  0.5/0.5/1  0.5/0.5/1
 Габаритные размеры
 (длина*ширина*высота), мм
 55*42*35  55*42*35
 Вес, г  115  215

*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
*** CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.

Сопутствующее оборудование
photo
Пятиосевая нанопьезоподвижка PENTOR
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Пятиосевая нанопьезоподвижка с максимальной величиной перемещения 100 мкм и углом наклона ±2 мрад.
photo
Терхканальные пьезоконтроллеры NV 40/3 и NV 40/3 CLE
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Предназначены для управления трехосевыми пьезоподвижками.
photo
Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 100
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Трехосевая нанопьезоподвижка с максимальной величиной перемещения 100 мкм и возможностью дооснащения как тензометрическими, так и емкостными датчиками.