Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 320
Трехосевая пьезоподвижка TRITOR 320 была разработана для высокоточного позиционирования при больших нагрузках (до 20 кг). Точность позиционирования при этом не превышает 0.8 нм. Имеет центральное отверстие в форме квадрат со стороной 150 мм. Возможно дооснащение емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control). Величина перемещения (X, Y, Z) составляет 50/50/400 мкм при контроле перемещения без помощи обратной связи (отключена обратная связь) и 40/40/320 мкм при контроле перемещения с помощью обратной связи (включена обратная связь).
Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 320.
| Модель | TRITOR 320 | TRITOR 320 CAP |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z |
|
Максимальное перемещение x/y/z (+/-10%), мкм (open-loop)* |
50/50/400 | 50/50/400 |
|
Максимальное перемещение x/y/z, мкм (closed-loop)** |
- | 40/40/320 |
|
Электрическая емкость на ось x/y/z (+/-20%), мкФ |
44/44/116 | 44/44/116 |
| Встроенные дачтчики | - | CAP*** |
| Точность x/y/z, нм (open-loop) | 0.1/0.1/0.8 | 0.1/0.1/0.8 |
| Точность, нм (closed-loop) | - | 1 |
| Повторяемость позиции x/y/z, нм | - | 2/2/14 |
| Нелинейность x/y/z, нм | - | 10/10/250 |
|
Резонансная частота x/y/z, Гц (нагрузка 0 кг) |
250/250/150 | 250/250/150 |
|
Резонансная частота x/y/z, Гц (нагрузка 12 кг) |
140/140/70 | 140/140/70 |
| Жесткость x/y/z, Н/мкм | 36/36/4.2 | 36/36/4.2 |
|
Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм |
320*320*55 | 320*320*55 |
| Форма центрального отверстия | Квадрат | Квадрат |
|
Размеры центрального отверстия (длина*ширина), мм |
150*150 | 150*150 |
| Вес, г | 8000 | 8000 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***CAP (capacitive sensors) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.
Сопутствующее оборудование
Пятиосевая нанопьезоподвижка PENTOR
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Пятиосевая
нанопьезоподвижка с максимальной величиной перемещения 100 мкм и углом наклона
±2 мрад.
Терхканальные пьезоконтроллеры NV 40/3 и NV 40/3 CLE
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Предназначены
для управления трехосевыми пьезоподвижками.
Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 400
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Трехосевая
нанопьезоподвижка с максимальной величиной перемещения 400 мкм и возможностью
дооснащения как тензометрическими, так и емкостными датчиками.