Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 102
TRITOR 102 - сочетает в себе преимущества небольших размеров системы (80 мм*80 мм*30 мм) с высокой точностью позиционирования, ограниченную только шумом сигнала системы управления. Максимальная величина перемещения составляет 100 мкм. Отличительной особенностью данной подвижки является наличие центрального сквозного отверстия диаметром 40 мм. Из-за высокой жесткости и превосходной прямолинейности движения серия TRITOR подходит для высокоточного позиционирования в нанометровом диапазоне. Возможно дооснащение как тензометрическими, так и емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).
Также рады предложить версию TRITOR 102 с дополнительной резьбой на месте отверстия (RMS вплоть до М32).
Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 102.
| Модель |
TRITOR 102 |
TRITOR 102 SG |
TRITOR 102 CAP |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z | X, Y, Z |
|
Максимальное перемещение (+/-10%), мкм (open-loop)* |
100 | 100 | 100 |
|
Максимальное перемещение, мкм (closed-loop)** |
- | 80 | 80 |
|
Электрическая емкость на ось (+/-20%), мкФ |
1.7 | 1.7 | 1.7 |
| Встроенные датчики | - | SG*** | CAP**** |
| Точность, нм | 0.2 | 2 | 1 |
| Повторяемость позиции, нм | - | +/-17 | +/-10 |
| Резонансная частота x/y/z, Гц | 330/320/210 | 330/320/210 | 330/320/210 |
| Жесткость x/y/z, Н/мкм | 1/1/1 | 1/1/1 | 1/1/1 |
|
Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм |
80*80*30 | 80*80*30 | 80*80*30 |
|
Диаметр центрального сквозного отверстия, мм |
40 | 40 | 40 |
| Вес, г | 520 | 610 | 700 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
****CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.
