Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 101
TRITOR 101 - сочетает в себе преимущества небольших размеров системы (68 мм*68 мм*30 мм) с высокой точностью позиционирования, ограниченную только шумом сигнала системы управления. Максимальная величина перемещения составляет 100 мкм. Отличительной особенностью данной подвижки является наличие центрального сквозного отверстия диаметром 30 мм. Из-за высокой жесткости и превосходной прямолинейности движения серия TRITOR подходит для высокоточного позиционирования в нанометровом диапазоне. Возможно дооснащение как тензометрическими, так и емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).
Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 101.
| Модель |
TRITOR 101 |
TRITOR 101 SG |
TRITOR 101 CAP |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z | X, Y, Z |
|
Максимальное перемещение (+/-10%), мкм (open-loop)* |
100 | 100 | 100 |
|
Максимальное перемещение, мкм (closed-loop)** |
- | 80 | 80 |
|
Электрическая емкость на ось (+/-20%), мкФ |
1.7 | 1.7 | 1.7 |
| Встроенные датчики | - | SG*** | CAP**** |
| Точность, нм | 0.2 | 2 | 1 |
| Повторяемость позиции, нм | - | +/-18 | +/-11 |
| Резонансная частота x/y/z, Гц | 420/410/360 | 420/410/360 | 420/410/360 |
| Жесткость x/y/z, Н/мкм | 1/1/1 | 1/1/1 | 1/1/1 |
|
Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм |
68*68*30 | 68*68*30 | 80.5*80.5*30 |
|
Диаметр центрального сквозного отверстия, мм |
30 | 30 | 30 |
| Вес, г | 480 | 570 | 650 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
****CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.
Сопутствующее оборудование
Терхканальные пьезоконтроллеры NV 40/3 и NV 40/3 CLE
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Предназначены
для управления трехосевыми пьезоподвижками.
Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 100
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Трехосевая
нанопьезоподвижка с максимальной величиной перемещения 100 мкм и возможностью
дооснащения как тензометрическими, так и емкостными датчиками.
Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 102
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Трехосевая
нанопьезоподвижка с центральным сквозным отверстием 40 мм, максимальной
величиной перемещения 100 мкм и возможностью дооснащения как тензометрическими,
так и емкостными датчиками.