Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 100
TRITOR 100 - сочетает в себе преимущества небольших размеров системы (40 мм*40 мм*34 мм) с высокой точностью позиционирования, ограниченную только шумом сигнала системы управления. Максимальная величина перемещения составляет 100 мкм. Из-за высокой жесткости и превосходной прямолинейности движения серия TRITOR подходит для высокоточного позиционирования в нанометровом диапазоне. Возможно дооснащение как тензометрическими, так и емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).
Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 100.
Модель | TRITOR 100 | TRITOR 100 SG | TRITOR 100 CAP |
Оси | X, Y, Z | X, Y, Z | X, Y, Z |
Максимальное пермещение (+/-10%), мкм (open-loop)* | 100 | 100 | 100 |
Максимальное перемещение, мкм (closed-loop)** | - | 80 | 80 |
Электрическая емкость на ось, мкФ | 1.8 | 1.8 | 1.8 |
Встроенные дачтики | - | SG*** | CAP**** |
Точность, нм | 0.2 | 2 | 1 |
Повторяемость позиции, нм | - | 30 | 20 |
Резонансная частота x/y/z, Гц | 500/550/480 | 500/550/480 | 500/550/480 |
Жесткость x/y/z, Н/мкм | 1/1/1 | 1/1/1 | 1/1/1 |
Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм | 40*40*34 | 40*40*34 | 60*40*41 |
Вес, г | 165 | 160 | 550 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
****CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.
Сопутствующее оборудование