Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 38
TRITOR 38 – это компактная пьезоэлектрическая подвижка размером 25 мм x 25 мм x 25 мм, максимальной величиной перемещения 38 мкм, высоким разрешением, а также возможностью дооснащения тензометрическими датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).
Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 38.
| Модель | TRITOR 38 | TRITOR 38 SG |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z |
|
Максимальное перемещение (+/-10%), мкм (open-loop)* |
38 | 38 |
|
Максимальное перемещение (+/-0.2%), мкм (closed-loop)** |
- | 30 |
|
Электрическая емкость на ось (+/-20%), мкФ |
0.7 | 0.7 |
| Встроенные датчики | - | SG*** |
| Точность, нм | 0.07 | 0.8 |
| Повторяемость позиции, нм | - | 22 |
| Нелинейность, % | - | 0.1 |
| Резонансная частота x/y/z, Гц | 630/685/915 | 630/685/915 |
| Жесткость x/y/z, Н/мкм | 0.5/0.45/0.8 |
0.5/0.45/0.8 |
|
Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм |
25*25*25 | 40*40*33.5 |
| Вес, г | 115 | 130 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
Сопутствующее оборудование
Нанопьезоподвижки microTRITOR и miniTRITOR
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Трехосевая пьезоэлектрическая наноподвижка с максимальной величиной перемещения 9 мкм (micro) и 38 мкм (mini).
Пятиосевая нанопьезоподвижка PENTOR
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Пятиосевая
нанопьезоподвижка с максимальной величиной перемещения 100 мкм и углом наклона
±2 мрад.
Терхканальные пьезоконтроллеры NV 40/3 и NV 40/3 CLE
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Предназначены
для управления трехосевыми пьезоподвижками.