XYZ Нанопьезоподвижка TRITOR 50

Заказать
Распечатать

TRITOR 50 - сочетает в себе преимущества небольших размеров системы (52 мм*35 мм*42 мм) с высокой точностью позиционирования, ограниченную только шумом сигнала системы управления. Максимальная величина перемещения составляет 50 мкм. Из-за высокой жесткости и превосходной прямолинейности движения серия TRITOR подходит для высокоточного позиционирования в нанометровом диапазоне. Возможно дооснащение емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).

Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 50.

 МодельTRITOR 50 TRITOR 50 CAP 
 Оси X, Y, Z X, Y, Z
 Максимальное перемещение
 (+/-10%), мкм (open-loop)*
 50 50
 Максимальное перемещение,
 мкм (closed-loop)**
 - 40
 Электрическая емкость на ось
 (+/-20%), мкФ
 1.0 1.0
 Встроенные датчики - CAP***
 Точность, нм 0.1 1.0
 Повторяемость позиции, нм - 4
 Нелинейность, % - 0.01 
 Резонансная частота x/y/z, Гц 345/365/400 345/365/400
 Жесткость x/y/z, Н/мкм 0.5/0.5/1 0.5/0.5/1
 Габаритные размеры
 (длина*ширина*высота), мм
 55*42*35 55*42*35
 Вес, г 115 215

*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
*** CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.

Сопутствующее оборудование