XYZ Нанопьезоподвижка TRITOR 50
TRITOR 50 - сочетает в себе преимущества небольших размеров системы (52 мм*35 мм*42 мм) с высокой точностью позиционирования, ограниченную только шумом сигнала системы управления. Максимальная величина перемещения составляет 50 мкм. Из-за высокой жесткости и превосходной прямолинейности движения серия TRITOR подходит для высокоточного позиционирования в нанометровом диапазоне. Возможно дооснащение емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).
Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 50.
| Модель | TRITOR 50 | TRITOR 50 CAP |
| Оси | X, Y, Z | X, Y, Z |
|
Максимальное перемещение (+/-10%), мкм (open-loop)* |
50 | 50 |
|
Максимальное перемещение, мкм (closed-loop)** |
- | 40 |
|
Электрическая емкость на ось (+/-20%), мкФ |
1.0 | 1.0 |
| Встроенные датчики | - | CAP*** |
| Точность, нм | 0.1 | 1.0 |
| Повторяемость позиции, нм | - | 4 |
| Нелинейность, % | - | 0.01 |
| Резонансная частота x/y/z, Гц | 345/365/400 | 345/365/400 |
| Жесткость x/y/z, Н/мкм | 0.5/0.5/1 | 0.5/0.5/1 |
|
Габаритные размеры (длина*ширина*высота), мм |
55*42*35 | 55*42*35 |
| Вес, г | 115 | 215 |
*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
*** CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.
Сопутствующее оборудование
Пятиосевая нанопьезоподвижка PENTOR
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Пятиосевая
нанопьезоподвижка с максимальной величиной перемещения 100 мкм и углом наклона
±2 мрад.
Терхканальные пьезоконтроллеры NV 40/3 и NV 40/3 CLE
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Предназначены
для управления трехосевыми пьезоподвижками.
Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 100
Производитель: Piezosystem jena (Германия)
Цена: по запросу
Подробнее
Трехосевая
нанопьезоподвижка с максимальной величиной перемещения 100 мкм и возможностью
дооснащения как тензометрическими, так и емкостными датчиками.