Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 101

Заказать
Распечатать

TRITOR 101 - сочетает в себе преимущества небольших размеров системы (68 мм*68 мм*30 мм) с высокой точностью позиционирования, ограниченную только шумом сигнала системы управления. Максимальная величина перемещения составляет 100 мкм. Отличительной особенностью данной подвижки является наличие центрального сквозного отверстия диаметром 30 мм. Из-за высокой жесткости и превосходной прямолинейности движения серия TRITOR подходит для высокоточного позиционирования в нанометровом диапазоне. Возможно дооснащение как тензометрическими, так и емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).

Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 101.

 Модель  TRITOR
 101 
 TRITOR
 101 SG 
 TRITOR
 101 CAP
 Оси X, Y, Z X, Y, Z X, Y, Z
 Максимальное перемещение
 (+/-10%), мкм (open-loop)*
 100 100 100
 Максимальное перемещение,
 мкм (closed-loop)**
 - 80 80
 Электрическая емкость на ось
 (+/-20%), мкФ
 1.7 1.7 1.7
 Встроенные датчики - SG*** CAP****
 Точность, нм 0.2 2 1
 Повторяемость позиции, нм - +/-18 +/-11
 Резонансная частота x/y/z, Гц 420/410/360 420/410/360 420/410/360
 Жесткость x/y/z, Н/мкм 1/1/1 1/1/1 1/1/1
 Габаритные размеры
 (длина*ширина*высота), мм
 68*68*30 68*68*30 80.5*80.5*30
 Диаметр центрального
 сквозного отверстия, мм
 30 30 30
 Вес, г 480 570 650

*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.

**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
****CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.

Сопутствующее оборудование