Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 100

Заказать
Распечатать

TRITOR 100 - сочетает в себе преимущества небольших размеров системы (40 мм*40 мм*34 мм) с высокой точностью позиционирования, ограниченную только шумом сигнала системы управления. Максимальная величина перемещения составляет 100 мкм. Из-за высокой жесткости и превосходной прямолинейности движения серия TRITOR подходит для высокоточного позиционирования в нанометровом диапазоне. Возможно дооснащение как тензометрическими, так и емкостными датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).

Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 100.

 МодельTRITOR 100   TRITOR 100 SG TRITOR 100 CAP 
 Оси X, Y, Z X, Y, Z X, Y, Z
 Максимальное пермещение
 (+/-10%), мкм (open-loop)*
 100 100 100
 Максимальное перемещение,
 мкм (closed-loop)**
 - 80 80
 Электрическая емкость на ось,
 мкФ
 1.8 1.8 1.8
 Встроенные дачтики - SG*** CAP****
 Точность, нм 0.2 2 1
 Повторяемость позиции, нм - 30 20
 Резонансная частота x/y/z, Гц 500/550/480 500/550/480 500/550/480
 Жесткость x/y/z, Н/мкм 1/1/1 1/1/1 1/1/1
 Габаритные размеры
 (длина*ширина*высота), мм
 40*40*34 40*40*34 60*40*41
 Вес, г 165 160 550

*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.
**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.
****CAP (capacitive sensor) - емкостной датчик. На основе него строится обратная связь.

Сопутствующее оборудование