Трехосевая нанопьезоподвижка TRITOR 38

Заказать
Распечатать

TRITOR 38 – это компактная пьезоэлектрическая подвижка размером 25 мм x 25 мм x 25 мм, максимальной величиной перемещения 38 мкм, высоким разрешением, а также возможностью дооснащения тензометрическими датчиками, позволяющими осуществлять контроль перемещения с помощью обратной связи (closed-loop control).

Технические характеристики нанопьезоподвижки TRITOR 38.

 Модель TRITOR 38 TRITOR 38 SG 
 Оси X, Y, Z X, Y, Z
 Максимальное перемещение
 (+/-10%), мкм (open-loop)*
 38 38
 Максимальное перемещение
 (+/-0.2%), мкм (closed-loop)**
 - 30
 Электрическая емкость на ось
 (+/-20%), мкФ
 0.7 0.7
 Встроенные датчики - SG***
 Точность, нм 0.07 0.8
 Повторяемость позиции, нм - 22
 Нелинейность, % - 0.1
 Резонансная частота x/y/z, Гц 630/685/915 630/685/915
 Жесткость x/y/z, Н/мкм 0.5/0.45/0.8 0.5/0.45/0.8
 Габаритные размеры
 (длина*ширина*высота), мм
 25*25*25 40*40*33.5
 Вес, г 115 130

*Open-loop control - контроль перемещения без помощи обратной связи.

**Closed-loop control - контроль перемещения с помощью обратной связи.
***SG (strain gauge) - тензометрический датчик. На основе него строится обратная связь.

Сопутствующее оборудование